凈化車間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車間無(wú)塵是必然的要求。
凈化車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前凈化車間應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
第一、重視源頭，加強(qiáng)凈化工程設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)的控制
1、工程的規(guī)劃首先要加強(qiáng)對(duì)設(shè)計(jì)單位設(shè)計(jì)凈化工程圖紙質(zhì)量的外部監(jiān)督與審查。充分發(fā)揮潔凈室圖紙審查中心的職能作用，像工程質(zhì)監(jiān)站監(jiān)督施工質(zhì)量一樣，審查、監(jiān)督設(shè)計(jì)質(zhì)量。潔凈工程圖紙的質(zhì)量高低是關(guān)系到此潔凈工程的建造成本控制等好壞的靈魂之物。
2、潔凈工程規(guī)范設(shè)計(jì)概算辦法，確立設(shè)計(jì)概算須經(jīng)過(guò)工程標(biāo)準(zhǔn)定額造價(jià)管理站和建行等全面審定，以確定的投資限額作為取費(fèi)基數(shù)，這樣可去除人為擴(kuò)大設(shè)計(jì)規(guī)模與冒算的費(fèi)用。
3、制訂設(shè)計(jì)獎(jiǎng)懲制度。設(shè)計(jì)圖紙被審查中心確認(rèn)為優(yōu)秀設(shè)計(jì)的應(yīng)給設(shè)計(jì)單位以特殊榮譽(yù)，對(duì)設(shè)計(jì)人員實(shí)施獎(jiǎng)勵(lì)。
4、制訂“限額設(shè)計(jì)”標(biāo)準(zhǔn)。限額設(shè)計(jì)是工程建設(shè)過(guò)程中行之有效的控制方法，也是控制投資規(guī)模的有效措施之一。因此，盡快組織有關(guān)部門，按建筑的不同類型和規(guī)模和潔凈度要求，制訂出適宜的限額設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，作為設(shè)計(jì)部門的“對(duì)照表”是設(shè)計(jì)管理工作中的一項(xiàng)重要任務(wù)。
5、推進(jìn)“四新”成果在工程設(shè)計(jì)中的應(yīng)用。以新技術(shù)、新材料、新工藝、新設(shè)備，優(yōu)化凈化工程設(shè)計(jì)的技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)，提高產(chǎn)業(yè)的科技含量，提高工程的綜合效益。