潔凈技術(shù)是包含空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水資源凈化技術(shù)、氣體凈化技術(shù)、痕量雜質(zhì)控制技術(shù)、清潔環(huán)境監(jiān)測技術(shù)等。潔凈技術(shù)的應(yīng)用主要通過潔凈室來實現(xiàn)?？档氯R凈化表示，潔凈工程有多種分類方式：按用途分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室；按潔凈室構(gòu)造分為土建式潔凈室和裝配式潔凈室；按氣流組織型式分為單向流潔凈室和非單向流潔凈室。
潔凈工程采用裝配式，非單向流動的工業(yè)潔凈室。預(yù)制的無塵室基于外部維護結(jié)構(gòu)的完成，采用一定模數(shù)的隔斷構(gòu)件進行現(xiàn)場裝配，特點是構(gòu)造簡單、裝配方便、應(yīng)用廣泛；非單向流潔凈工程的原理是“稀釋沖淡”作用，利用干凈空氣的不均勻擴散來稀釋室內(nèi)的發(fā)塵量，以保持室內(nèi)的潔凈度（適用于潔凈度6～9級），特點是結(jié)構(gòu)簡單、造價低、維護費用低。
潔凈工程中最重要的指標(biāo)是灰塵顆粒的濃度。從減少和控制室內(nèi)灰塵顆粒的濃度來看，保證潔凈度的基本措施如下：
1）采用維持潔凈工程內(nèi)的正壓，以確保高效過濾器的有效性和工程結(jié)構(gòu)的緊密性，設(shè)置人、物凈化設(shè)施等措施來防止室外污染的直接侵入；
2）通過潔凈工程建筑內(nèi)表面結(jié)構(gòu)和設(shè)備管道的設(shè)計，防止微塵堆積；
3）通過合理規(guī)劃人員流動，物流和材料選擇，提高過程自動化水平并控制污染源，減少微塵產(chǎn)生量；
4）合理規(guī)劃空氣分配，以有效迅速地清除房間內(nèi)產(chǎn)生的細微灰塵。潔凈工程中，根據(jù)國標(biāo)GB50073—2013《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》，我國潔凈室內(nèi)不同潔凈度等級對應(yīng)的氣流流型和送風(fēng)量。
電氣系統(tǒng)設(shè)計
質(zhì)譜儀是一種精密儀器，集數(shù)字，模擬，計算機軟件和硬件，真空和離子光學(xué)技術(shù)于一體。潔凈工程中，對于電源的穩(wěn)定性（一般電壓要求220×（1±0.05）v，頻率要求（50±0.5）hz）和連續(xù)性要求較高，電源性能好壞直接關(guān)系到質(zhì)譜儀的正常運行與壽命。質(zhì)譜儀常用的配電模式如下：
1）穩(wěn)壓電源供電：來自主配電室的專用電源線在通過穩(wěn)壓器后為質(zhì)譜儀供電。潔凈工程在其中的特點是可以消除電網(wǎng)的變化與波動對質(zhì)譜儀的影響，但穩(wěn)壓電源不能穩(wěn)定頻率和解決斷電問題，適用于電網(wǎng)穩(wěn)定地區(qū)。
2）UPS（不間斷電源）供電：來自主配電室的專用電源線為UPS之后的質(zhì)譜儀供電。UPS是質(zhì)譜儀的理想電源，不僅在斷電時能繼續(xù)供電，而且還具有穩(wěn)壓和穩(wěn)頻的作用。質(zhì)譜儀一般要求在斷電后能繼續(xù)工作一段時間，以便真空泵、電子元器件能夠平穩(wěn)地啟停。潔凈工程中，UPS的供電時間取決于儀器設(shè)備需求，一般為1～4h。對于具有多臺質(zhì)譜儀的實驗室，可以選擇一臺UPS集中供電或多臺UPS分散供電的模式。
根據(jù)國外經(jīng)驗，凈化工程中，大型質(zhì)譜儀通常會選擇為每個質(zhì)譜儀分別配置UPS的分布式電源模式。目前，穩(wěn)壓電源供電和UPS供電是質(zhì)譜儀主流的供電模式，UPS供電模式雖然投資偏大，但綜合優(yōu)勢非常突出，是大型質(zhì)譜儀優(yōu)選的供電模式。潔凈工程中采用每臺質(zhì)譜儀單獨配置UPS的分散供電模式。