潔凈廠房由于使用了多種易燃、易爆、毒性和腐蝕性氣體以及易燃、易爆、腐蝕性溶劑.其中任何一種氣體和溶劑泄漏都會(huì)帶來很大的火災(zāi)危害、設(shè)備毀壞或人員傷害,因此在各易燃、易爆和腐蝕性特種氣體間、氣瓶柜內(nèi)部、溶劑間、溶劑輸送柜內(nèi)部、SUBFAB、閥門箱和生產(chǎn)區(qū)均應(yīng)按輸送介質(zhì)以及介質(zhì)危險(xiǎn)性的不同安裝不同類型、不同靈敏度的探測(cè)器,常用的探測(cè)器有電化學(xué)探測(cè)器、真空泵抽氣式探測(cè)器、UV/IR)(紫外線/紅外線)探測(cè)器等。